ポーラス low-k 膜のUVアニール技術 : SOD材料とUVプロセスの最適化

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概要

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• 2007-07-12

著者

• 小針 英也

  東京応化工業(株)

• 竹内 義行

  東京応化工業(株)

• 高濱 昌

  東京応化工業(株)

• 飯田 啓之

  東京応化工業(株)

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