シリコンバイメタルを使った熱駆動型マイクロリレー
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-09-22
著者
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河田 裕志
松下電工 解析技研
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齊藤 公昭
松下電工
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友成 惠昭
松下電工株式会社
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吉田 仁
松下電工株式会社
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荻原 淳
松下電工株式会社
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長尾 修一
松下電工株式会社
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齊藤 公昭
松下電工株式会社
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川人 圭子
松下電工株式会社
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河田 裕志
松下電工株式会社
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PICCINIC John
Aromat Corporation
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友成 恵昭
徳島大学
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友成 惠昭
松下電工
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