SIMOX用大電流マイクロ波イオン源の開発

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概要

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• 1996-09-10

著者

• 登木口 克己

  日立製作所電力・電機・開発研究所

• 関 孝義

  日立製作所電力・電機・開発研究所

• 関 孝義

  日立製作所

• 登木口 克己

  日立製作所

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