大電流酸素イオン注入用マイクロ波イオン源の特性

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1999-07-20

著者

• 登木口 克己

  日立製作所電力・電機・開発研究所

• 関 孝義

  日立製作所電力・電機・開発研究所

• 関 孝義

  日立製作所

• 登木口 克己

  日立製作所

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