突起状接触端子を形成したLSI検査用薄膜プローブの開発

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概要

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• 2003-12-16

著者

• 和田 雄二

  (株)ルネサステクノロジ

• 春日部 進

  (株)日立製作所

• 森 照享

  (株)日立製作所

• 渡部 隆好

  (株)日立製作所

• 本山 康弘

  (株)ルネサステクノロジ

• 長谷部 昭男

  (株)ルネサステクノロジ

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