LSI検査用の角錐状接触端子を形成した薄膜プローブの開発

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
狭ピッチで微細なパッドが形成されたLSIの電気特性検査用プローブとして、小さなプロービング痕で良好な接触特性を得るため四角錐状の接触端子を形成した、ベアチップおよびウエハ検査用の薄膜プローブを開発した。シリコンを異方性エッチングして四角錐の穴を形成することにより、接触端子の型材とする。この穴にニッケルめっきで四角錐の接触端子を形成し、その接触端子上から配線を引き出したポリイミドシートを形成する。その後、シリコン型材をエッチング除去してプローブシートとする。この角錐状接触端子を形成した薄膜プローブの接触抵抗値は、0.1〜0.2Ωで安定している。
社団法人電子情報通信学会の論文
2003-01-23

著者

関連論文

スポンサーリンク