真空蒸着で作製したSiO_x薄膜のガス透過率に及ぼす成膜条件およびUV照射条件の影響
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概要
著者
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田口 俊夫
三菱重工業(株)
-
小林 敏郎
三菱重工業(株)
-
小林 敏郎
三菱重工業(株)広島研究所
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小林 敏郎
三菱重工業株式会社 広島研究所
-
小川 真
三菱重工業株式会社広島研究所
-
中野 要治
三菱重工業株式会社広島研究所
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神川 進
三菱日立製鉄機械株式会社
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伊藤 義文
久留米高専
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田口 俊夫
三菱重工業(株)広島研究所
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小川 真
三菱重工業(株)
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田口 俊夫
三菱重工業
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神川 進
三菱重工業(株)広島製作所製鉄機械設計部
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