poly-Si はりの共振周波数測定による残留歪の評価

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1999-11-11

著者

• 池田 恭一

  横河電機株式会社

• 池原 毅

  機械技術研究所

• ZWIJZE Robert

  University of Twente

• 池原 毅

  横河電機株式会社

関連論文

• マイクロマシンにおける付着防止法
• poly-Si はりの共振周波数測定による残留歪の評価
• 大流量電磁駆動シリコンマイクロバルブ

スポンサーリンク