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池原 毅 | 横河電機株式会社
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関連著者
池田 恭一
横河電機株式会社
池原 毅
機械技術研究所
池原 毅
横河電機株式会社
山岸 秀章
横河電機株式会社
ZWIJZE Robert
University of Twente
著作論文
poly-Si はりの共振周波数測定による残留歪の評価
大流量電磁駆動シリコンマイクロバルブ
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