電子線直描に於けるMOSゲート酸化膜の照射ダメジ評価

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概要

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• 1997-12-04

著者

• 小西 守一

  ソニー(株)

• 窪田 通孝

  ソニー(株)

• 小池 薫

  ソニー(株)

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