溶液原料気化CVD法を用いた8インチ基板上への(Ba, Sr)TiO_3薄膜の作製

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概要

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• 1996-12-05

著者

• 日高 淳一

  日本酸素(株)つくば研究所電材開発部

• 小林 一三

  日本酸素(株)

• 津山 新井

  日本酸素(株)

• 沢渡 義規

  日本酸素(株)

• 平尾 浩二郎

  日本酸素(株)

• 日高 淳一

  日本酸素(株)

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