ウエハバーンイン技術の現状と課題(<特集>BGA・CSP・KGD の動向)

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概要

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• 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
• 1998-10-01

著者

• 中田 義朗

  松下電子工業株式会社半導体社プロセス開発センター

• 沖 伸一

  松下電子工業株式会社半導体社プロセス開発センター

• 中山 知之

  松下電子工業株式会社半導体事業本部プロセス開発センター

• 樋渡 健次郎

  松下電子工業株式会社半導体事業本部プロセス開発センター

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