Built-in Mask方法による3次元光回路用マイクロミラー付きフィルム導波路
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概要
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高速光配線・大規模光スイッチングシステムの実現には, フィルム導波路を積層した3次元光回路が有望である。本研究では, フィルム間垂直方向光配線(Optical Z-Connection)に必要なマイクロミラー付きフィルム導波路の作製プロセス「Builtin Mask方法」を提案した。導波路コアパターンマスク付き透明基板上に感光性導波路材料をコーティングし, 種々の角度で露光して固化することにより, 導波路コアやミラーを高密度一括形成できる。はく離層を介在させることで繰り返し複製ができ量産性に富む。露光方法の検討により, 4∿64μm幅のコアと, 面外反射マイクロミラーとして機能する傾斜コア端面の形成に成功した。
- 2005-05-01
著者
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吉村 徹三
東京工科大学バイオニクス学部
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新井 享彦
東京工科大学電子工学科
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浅間 邦彦
東京工科大学電子工学科
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吉村 徹三
東京工科大学工学部電子工学科
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吉村 徹三
東京工科大学
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浅間 邦彦
東京工科大学工学部電子工学科
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浅間 邦彦
東京工科大 工
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井ノ口 誠子
東京工科大学電子工学科
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森谷 聡史
東京工科大学電子工学科
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山本 孝
東京工科大学電子工学科
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山本 孝
東京工大工
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