Sub-A電子ビームによる高分解能STEM

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概要

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• The scanning transmission electron microscope (STEM) with an annular dark-field (ADF) detector provides atomic-resolution <I>incoherent</I> images, whose resolution is dominated, to a good approximation, by the size of convergent electron beams. Improving a spherical aberration of microscope objective lenses has been successful in converging the beam into sub-A scale, promising a remarkably higher resolution for STEM. Here we describe the performance of aberration-corrected 300kV-STEM - the world-best STEM available today. The results clearly demonstrate that a sub-Ångstrom resolution has been indeed achieved for not only simple structures but also structurally complex systems (quasicrystals) .

• 日本結晶学会の論文
• 2005-02-24

著者

• 阿部 英司

  物質・材料研究機構

• Pennycook Stephen

  オークリッジ国立研究所

• 阿部 英司

  物質・材料研究機構 材料研究所

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