3C-SiCバルク基板の欠陥密度低減技術

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本セラミックス協会の論文
• 2005-01-01

著者

• 長澤 弘幸

  Hoya Advanced Semiconductor Technologies Co. Ltd.

関連論文

• 3C-SiCバルク基板の欠陥密度低減技術
• 806 3C-SiC基板の反りへの積層欠陥分布の影響(OS8.電子・原子・マルチシミュレーションに基づく材料特性評価(2),OS・一般セッション講演)

スポンサーリンク