圧電アクチュエｰタｰを用いたSTM用インチワｰム機構の開発
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概要
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- 1995-04-15
著者
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Suzuki Tsunenori
Department Of Physics Facuculty Of Science Tokai University
-
Koizumi Kenji
Department Of Anatomy And Life Structure Jentendo University School Of Medicine
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Koizumi Kenji
Department Of Physics Faclty Of Science Tokai University
-
MATSUO Yasurou
Department of Physics, Faclty of Science, Tokai University
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Matsuo Yasurou
Department Of Physics Faclty Of Science Tokai University
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Suzuki Tsunenori
Department Of Physics Faclty Of Science Tokai University
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