ターボ分子ポンプ用磁気軸受の最近の開発動向
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概要
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Turbo molecular vacuum pump is the most successful application of Active Magnetic Bearings (AMB). Digital control technology based on digital signal processor (DSP) was introduced to AMB. Herein latest trend in development of active magnetic bearing for turbo molecular Vacuum pump is described.
- ターボ機械協会の論文
- 2004-07-10
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