ポリエステルフィルムへの酸化物薄膜の密着性

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概要

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• The oxide thin film formation, such as Indium Tin Oxide (ITO), SiO<SUB>2</SUB> and so on, attracts attention in fields, such as LCD, on the plastic film. In this report, an oxide thin film is taken for an example and it states how the practical use characteristic and oxide adhesion are related.

• 日本真空協会の論文
• 2003-12-20

著者

• 大谷 寿幸

  金沢工業大学

• 村上 英生

  東洋紡績株式会社フィルム開発研究所

• 大谷 寿幸

  東洋紡績株式会社フィルム開発研究所

• 森重 地加男

  東洋紡績株式会社フィルム開発研究所

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