高周波スパッタリングにより金属基板上に形成したポリテトラフルオロエチレン(PTFE)薄膜の機械的特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Scratch durability of the thin films sputtered from polytetrafluoroethylene (PTFE) on copper and nickel substrates were evaluated using a pin-on-disk type apparatus. The sputter deposition rate of the PTFE thin film was faster than that of other polymers such as LDPE, HDPE, PMMA, Nylon-6, and PI. Surface of the PTFE thin film was smooth. The scratch durability of the PTFE film deposited on the copper substrate showed higher value than that on the nickel substrate. The friction and scratch durability is related to hardness of the metal substrates and adhesion strength between the PTFE film and the metal substrate. The adhesion strength between the PTFE film and evaporated metal films was higher than that between the bulk PTFE and the metal thin films. This result was estimated to be due to the difference of chemical bonding state between the PTFE thin film and the bulk PTFE.
- 日本真空協会の論文
- 2003-12-20
著者
関連論文
- (9) テーマ発掘型ゼミナールの試み(第3セッション 個性化・活性化(III))
- 微細圧力制御による微小領域の形状修正研磨
- ポリアミドイミド複合材の摩擦・摩耗に及ぼす温度の影響
- アルミニウム軸用プラスチックすべり軸受材料の摩耗に関する基礎的研究-2-移着フィルムの摩擦特性と摩耗寿命
- アルミニウム軸用プラスチックすべり軸受材料の摩耗に関する基礎的研究-1-各種プラスチック材料の摩擦・摩耗と相手アルミニウムの表面損傷
- (55)初期創成科目「機械解剖実習」 : スクータの分解・組立による機械工学への導入(セッション16 創成教育IV)
- ポア自生パッドの開発とそれの研磨加工への応用 : 超微細ダイヤモンドによるぜい性材料の研磨
- 高速流動法によるステンレス鋼曲がり管内壁面の研磨
- 温間引き抜き加工により創成された管の微細穴内壁面の高速流動研磨
- 電気泳動研磨に関する研究 : 副電極を配した場合
- 繰返し負荷を受けるポリメチルメタクリレートの剛性変化に及ぼす温度の影響
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 -表面粗さ低減における二段階研磨の効果-
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 (第3報) : ガラスビーズ添加の効果
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 (第2報) : 内径の異なる各種細管の研磨特性
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 -ガラスビーズ添加の効果-
- 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨(第1報) : 研磨の基本特性
- 極細ステンレス管内壁の超精密研磨(第2報)-各種内径の異なる管の研磨特性-
- マスフローメーター用極細ステンレス管の超精密研磨(第1報) -加工装置と基本特性-
- 高分子材料のアブレシブ摩耗
- 高周波スパッタリングにより作製したフッ化カーボン膜の化学構造と機械的特性の評価
- 815 CFRPの粘弾性挙動に及ぼす疲労損傷の影響(GS2-1 機械材料と強度評価,一般セッション:2)
- 918 繰り返し負荷のもとでの CFRP の剛性の劣化過程
- 515 PPS複合材の摩擦・摩耗特性と摩擦面の評価(O.S.5-4 機械要素の長寿命化)(オーガナイズドセッション5 : トライボロジーと機械要素およびその応用技術)
- 1012 ナイロン複合材の摩擦摩耗の温度特性(OS10-3 摩擦・摩耗,オーガナイズドセッション:10 機械要素とトライボロジー)
- 206 CFRP疲労劣化材のクリープ挙動(高分子/高分子基複合材料)
- 高周波スパッタリングにより金属基板上に形成したポリテトラフルオロエチレン(PTFE)薄膜の機械的特性
- 熱処理した非結晶性高分子材料の降伏過程