電気化学インピーダンス法を用いた半導体空間電荷および表面酸化物薄層容量の測定
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概要
著者
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Levy Didier
Stmicroelectronics R & D Center
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CHEMLA Marius
Laboratoire d'Electrochimie, LI2C, Universite P. & M. Curie
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PETITDIDIER Sebastien
STMicroelectronics R & D Center
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ROUELLE Francois
Laboratoire d'Electrochimie, LI2C, Universite P. & M. Curie
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BERTAGNA Valerie
Department Chimie des Materiaux, CRMD, Universite d' Orleans
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Chemla Marius
Laboratoire D'electrochimie Li2c Universite P. & M. Curie
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Rouelle Francois
Laboratoire D'electrochimie Li2c Universite P. & M. Curie
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Bertagna Valerie
Department Chimie Des Materiaux Crmd Universite D' Orleans
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Petitdidier Sebastien
Stmicroelectronics R & D Center