電気化学インピーダンス計測による Si 基板空乏層の評価
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概要
著者
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Levy Didier
Stmicroelectronics R & D Center
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CHEMLA Marius
Laboratoire d'Electrochimie, LI2C, Universite P. & M. Curie
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PETITDIDIER Sebastien
STMicroelectronics R & D Center
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ROUELLE Francois
Laboratoire d'Electrochimie, LI2C, Universite P. & M. Curie
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BERTAGNA Valerie
Laboratoire Chimie des Materiaux, CRMD, University of Orleans
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Chemla Marius
Laboratoire D'electrochimie Li2c Universite P. & M. Curie
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Rouelle Francois
Laboratoire D'electrochimie Li2c Universite P. & M. Curie
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Bertagna Valerie
Department Chimie Des Materiaux Crmd Universite D' Orleans
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Petitdidier Sebastien
Stmicroelectronics R & D Center