CVD法によるグラファイト薄膜の低温作製
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概要
著者
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大木 芳正
新技術事業団
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吉村 進
新技術事業団
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湯田坂 雅子
新技術事業団
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太田 悦郎
群馬大学工学部材料工学科
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吉村 進
新技術事業団吉村パイ電子物質プロジェクト
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菊地 理恵
新技術事業団
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松井 丈雄
新技術事業団吉村パイ電子物質プロジェクト
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大木 芳正
松下技研(株)新素材研
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太田 悦郎
群馬大学工学
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