CVD法によるグラファイト薄膜とヘテログラファイト薄膜の作成

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概要

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• 1995-12-01

著者

• 湯田坂 雅子

  新技術事業団

• 松井 丈雄

  新技術事業団吉村パイ電子物質プロジェクト

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