ULSI開発におけるCMPとその応用技術

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概要

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• 2000-09-01

著者

• 宮本 秀信

  日本電気(株)ULSIデバイス開発研究所

• 宮本 秀信

  日本電気(株)necエレクトロンディバイス 光端デバイス開発本部 高集積技術gr

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