フローティングヘッドを用いたCMPにおけるウェーハエッジ部の研磨ばらつき

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概要

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• 2000-03-01

著者

• 柴谷 博志

  三菱マテリアルシリコン(株)

• 小林 弘之

  三菱マテリアル(株)

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