柴谷 博志 | 三菱マテリアルシリコン(株)

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概要

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• 同名の論文著者
• 三菱マテリアルシリコン(株)の論文著者

関連著者

• 柴谷 博志

  三菱マテリアルシリコン(株)

• 青山 英樹

  苫小牧工業高等専門学校

• 稲崎 一郎

  (現)中部大学総合工学研究所:慶應義塾大学

• 小林 弘之

  三菱マテリアル(株)

• 佐々木 善章

  慶應義塾大学大学院:(現)ローム(株)

• 稲崎 一郎

  慶應義塾大学

• 青山 英樹

  慶應義塾大学

• 佐々木 善章

  慶應義塾大学大学院

• 稲崎 一郎

  慶応義塾大学大学院

• 宮入 広雄

  三菱マテリアル

• 佐々木 善章

  慶大 理工

• 青山 英樹

  慶大 理工

• 稲崎 一郎

  慶大 理工

• 青山 英樹

  慶應義塾大学 理工学部 システムデザイン工学科

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著作論文

• CMPによるシリコンウェハの平坦化に関する研究(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• フローティングヘッドを用いたCMPにおけるウエハエッジ部の研磨プロファイルに関する研究
• フローティングヘッドを用いたCMPにおけるウェーハエッジ部の研磨ばらつき
• CMPにおけるシリコンウェハ接触面の圧力分布について

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