洗浄用薬剤フッ硝酸のカスケード利用技術とそのLCA評価
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概要
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- 2002-09-01
著者
-
平尾 雅彦
東京大学大学院工学系研究科 化学システム工学専攻
-
上杉 浩之
三洋アクアテクノ(株)
-
杉中 智洋
川崎製鉄(株)
-
藤原 政志
日本電気(株)
-
桑内 祐輝
東京大学
-
藤原 政志
NECエレクトロニクス(株)ULSI開発試作事業部
-
平尾 雅彦
東大 大学院工学系研究科
-
杉中 智洋
川崎製鉄(株)千葉製鉄所ステンレス部
-
平尾 雅彦
東京大学
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