アレイアンテナ式大面積 VHF-PCVD 装置

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2002-07-10

著者

• 上田 仁

  石川島播磨重工業株式会社

• 高木 朋子

  石川島播磨重工業株式会社

• 渡部 嘉

  石川島播磨重工業株式会社

• 高木 朋子

  石川島播磨

• 伊藤 憲和

  石川島播磨重工業(株)

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