マグネトロンスパッタ法における電子挙動計算を用いた***ージョン解析

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1993-06-20

著者

• 稲葉 宏

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 稲葉 宏

  株式会社日立製作所生産技術研究所

• 片岡 宏之

  株式会社日立製作所生産技術研究所

• 阿部 勝男

  株式会社日立製作所ストレージ事業部

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