ESDイオン誤差を除去したX線限界10^<-12>Paのイオン分光ゲージ

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文
• 1992-04-20

著者

• 渡辺 文夫

  助川電気工業(株)つくば研究室

• 渡辺 文夫

  助川電気工業

関連論文

• ESDイオン誤差を除去したX線限界10^Paのイオン分光ゲージ
• アルミニウム・ステンレス複合システムによる10^Pa極高真空の発生
• 新しいX線光電子エミッション打ち消し法とXHVゲージへの応用
• ポイントコレクターゲージによる10-11Pa領域での圧力測定の誤差の評価

スポンサーリンク