新しいX線光電子エミッション打ち消し法とXHVゲージへの応用

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概要

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• A new compensation method for X-ray photoemission has been developed to reduce the low-pressure limit of a hot-cathode ionization gauge. The negative biased compensation grid is located between an electron collector grid and an ion collector plate, and compensates the X-ray photoemission from the ion-collector by the X-ray photoemission from the compensation grid. The test gauge is constructed with a molybdenum spherical grid, a Th0<SUB>2</SUB>-Re ring filament, a disk ion collector and a woven-mesh compensation grid. The X-ray limit of the new gauge with a sensitivity factor of 0.2Pa<SUP>-1</SUP> is about 10<SUP>-11</SUP>Pa. However, the gauge is influenced considerably by the electron-stimulated ion desorption from the grid.

• 日本真空協会の論文

著者

• 渡辺 文夫

  助川電気工業(株)つくば研究室

• 渡辺 文夫

  助川電気工業

• 渡辺 文夫

  助川電気工業 (株) つくば研究室

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