連載「発明の裏話」I : 有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の発明

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本塑性加工学会の論文
• 1993-02-20

著者

• 作道 訓之

  (株)日立製作所日立研究所

• 作道 訓之

  (株)日立製作所

関連論文

• 連載「発明の裏話」I : 有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の発明
• 2 イオン加工(生産技術のニューウェーブ《マイクロ加工》)
• イオン注入装置の開発動向(エネルギービーム加工)

スポンサーリンク