作道 訓之 | (株)日立製作所

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概要

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• 作道 訓之

  (株)日立製作所

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  (株)日立製作所日立研究所

著作論文

• 連載「発明の裏話」I : 有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の発明
• 2 イオン加工(生産技術のニューウェーブ《マイクロ加工》)
• イオン注入装置の開発動向(エネルギービーム加工)

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