光磁気記録媒体における狭トラックピッチ基板対応スパッタ成膜技術
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概要
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- 2001-09-01
著者
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川村 裕明
株式会社アルバック千葉超材料研究所
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石橋 暁
株式会社アルバック千葉超材料研究所
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谷 典明
(株)アルバック 千葉超材料研究所
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太田 淳
日本真空超材研
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森中 泰三
日本真空超材研
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谷 典明
日本真空超材研
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川村 裕明
日本真空超材研
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石橋 暁
日本真空超材研
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