谷 典明 | (株)アルバック 千葉超材料研究所

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• 谷 典明

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• 石橋 暁

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• 川村 裕明

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• 石橋 暁

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• 浮島 禎之

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著作論文

• 光磁気記録媒体における狭トラックピッチ基板対応スパッタ成膜技術
• 対向ターゲット式スパッタ法により作製した Indium-Tin-Oxide (ITO) 膜特性
• 光触媒TiO2膜の低温成膜

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