イオンプレーティング法により形成したTi-Si-Nナノ複合皮膜の硬さと微細組織

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概要

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• 表面技術協会の論文
• 2001-12-01

著者

• 佐藤 裕

  (株)イオン工学研究所

• 渡邊 久

  (株)イオン工学研究所

• 大谷 三郎

  (株)イオン工学研究所

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