反応ガス流れ解析による平行平板狭電極型プラズマエッチング装置におけるエッチング速度均一性の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-07-29
著者
関連論文
- 404 ボクセルメッシュを用いた磁気ディスク装置内の気流シミュレーション(計算力学と数値シミュレーション)
- 2314 ボクセルメッシュを用いた磁気ディスク装置内の気流シミュレーション(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス)
- 5728 スポイラとバイパス流路によるHDD内流速の低減(S84-3 情報機器コンピュータメカニクス(3),S84 情報機器コンピュータメカニクス)
- インクジェット成膜プロセスにおける矩形窪み内の液滴の広がり解析(オーガナイズドセッション4 材料創成プロセスと熱工学)
- 反応ガス流れ解析による平行平板狭電極型プラズマエッチング装置におけるエッチング速度均一性の検討
- F156 CZ 法単結晶引き上げ時の酸化物単結晶温度分布計算