容量結合型高周波放電に対する2種類の高周波電界の重畳効果

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2001-09-20

著者

• 長濱 治男

  福井工業大学電気電子工学科

• 長濱 治男

  福井工業大学工学部電気電子工学科

• 長濱 治男

  福井工業大学

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