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プラスチック基板上多結晶 Si 薄膜トランジスタの作製
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概要
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日本真空協会の論文
2001-06-20
著者
Gosain Dharam
ソニー(株)フロンティアサイエンス研究所
ゴサイン ダラム
ソニー(株)フロンティアサイエンス研究所
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