TiN膜 - 有機金属化学気相成長の表面反応を考慮したモンテカルロシミュレーション

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概要

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• 2001-03-20

著者

• 小林 司

  アネルバ(株)プロセス開発研究所

• 戸部 了己

  アネルバ(株)

• 戸部 了己

  アネルバ(株)プロセス開発研究所

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