Ti(C,N)膜への結合膜とα-Al_2O_3膜のエピタキシャル成長機構の研究

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概要

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• 2001-08-20

著者

• 石井 敏夫

  日立ツール株式会社成田工場

• 権田 正幸

  日立金属株式会社先端エレクトロニクス研究所

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