GeH_4-CF_4-H_2 混合ガスの高周波グロー放電における励起 GeF_2 の生成

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概要

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• 日本化学会の論文
• 1994-03-10

著者

• 八木 茂

  富士ゼロックス株式会社ニュービジネスセンター

• 八木 茂

  富士ゼロックス

• 太田 剛司

  富士ゼロックス株式会社材料研究所

• 高橋 徳好

  富士ゼロックス株式会社材料研究所

• 斎藤 一仁

  東京工業大学理学部化学科

• 小尾 欣一

  東京工業大学理学部化学科

• 小尾 欣一

  東京工業大学理学部

• 小尾 欣一

  東京工業大

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