特集解説 Interferometric Metrology of Dynamic Properties of MEMS (特集 マイクロマシンにおける計測技術)

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概要

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• 社団法人 電気学会の論文
• 2000-08-01

著者

• Lee Chih-kung

  National Taiwan University

• WU Giin-yuan

  AHEAD Optoelectronics, Inc.

• Wu Giin-yuan

  Ahead Optoelectronics Inc.

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