薄膜型バルク波共振子におけるZnO圧電薄膜と下地電極の最適化

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概要

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• 電気学会の論文
• 2000-12-01

著者

• 畑 朋延

  村田製作所

• 吉野 幸夫

  村田製作所

• 井上 和裕

  村田製作所

• 竹内 雅樹

  村田製作所

• 牧野 孝裕

  金沢大学

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