ZnO圧電薄膜のバルク弾性波素子への応用 : 異なる周波数領域でのゼロ温度係数圧電共振子の可能性
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概要
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酸化亜鉛(ZnO)薄膜のバルク弾性波素子への応用に着目し、3.58MHz、および200MHzの圧電共振子を作製した。作製にあたっては、3.58MHzでは熱処理で音速の温度特性が調整可能なエリンバ合金を、また、200MHzでは、音速温度特性がZnOと逆符号のSiO_2を基板に用い、共振子の周波数温度特性が小さな素子を作製することを試みた。実験の結果、3.58MHz、200MHzにおいて、良好な共振特性、周波数温度特性を持つ共振子の作製できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-10-19
著者
-
畑 朋延
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
畑 朋延
村田製作所
-
荒井 晴市
株式会社村田製作所
-
吉野 幸夫
村田製作所
-
井上 和裕
村田製作所
-
竹内 雅樹
村田製作所
-
牧野 孝裕
金沢大学
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吉野 幸夫
株式会社村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発1部
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竹内 雅樹
株式会社村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発1部
-
井上 和裕
株式会社村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発1部
-
牧野 孝裕
株式会社村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発1部
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荒井 晴市
村田製作所
-
荒井 晴市
株式会社村田製作所技術開発本部第3開発グループ開発1部
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