CPCD法を用いたDLC膜の欠陥評価
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概要
著者
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高谷 泰之
兵庫県立工業技術センター
-
土山 明美
福岡県工業技術センター
-
蓮山 寛機
久留米工業大学
-
南 守
福岡県工業技術センター機械電子研究所
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蓮山 寛機
久留米工業大学大学院工学研究科
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土山 明美
福岡県工業技術センター機械電子研究所
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