AlNエピタキシー膜を用いたAlN/GaN絶縁ゲートFET(MISFET)

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概要

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• 2000-02-10

著者

• 中村 文彦

  ソニー(株)フロンティアサイエンス研究所

• 河合 弘治

  ソニー(株)フロンティアサイエンス研究所

• 今永 俊治

  ソニー(株)フロンティアサイエンス研究所

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