A New Type of Dry-developed Positive Deep UV Resist Using Polymer Langmuir-Blodgett Films
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概要
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- 1998-12-05
著者
-
宮下 徳治
東北大多元研
-
Miyashita Tokuji
Institute For Chemical Reaction Science Tohoku University
-
Feng F
Tohoku Univ. Sendai
-
宮下 徳治
Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University
-
GUO Yinzhong
Institute for Chemical Reaction Science, Tohoku University
-
FENG Fei
Institute for Chemical Reaction Science, Tohoku University
-
Guo Yinzhong
Institute For Chemical Reaction Science Tohoku University
-
Feng Fei
Institute For Chemical Reaction Science Tohoku University
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