圧電素子を利用したアクティブスクイーズ空気軸受の開発 -第4報 軸受面駆動方式の改良-

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概要

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• 1998-09-01

著者

• 久曽神 煌

  長岡技大(工)

• 中尾 祥昌

  長岡技術科学大学大学院:(現)富士ゼロックス(株)

• 磯部 浩巳

  長岡技大(工)

• 中尾 祥昌

  長岡技大(院)

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