弾性表面波リニアモータの試作と評価

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概要

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• 1997-10-01

著者

• 刑部 尚樹

  東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻

• 刑部 尚樹

  東大工学系研究科

• 黒澤 実

  東大工学系研究科

• 樋口 俊郎

  東大工学系研究科

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